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光刻机原理 进来看看

1、光刻光刻机制作芯片的机原过程,基本和“冲印照片”一样。理进假设拍的光刻是风景,胶片上会有曝光痕迹,机原先要在暗室里显影,理进让风景在胶片上显示出来。光刻然后在红光下通过放大机,机原把胶片上的理进风景投射到相纸上,让相纸曝光。光刻再通过相纸的机原显影、定影、理进烘干得到最终的光刻照片。除了风景之外,机原“照片冲印”需要有胶片,理进有光源、放大机、相纸。

2、对光刻机来说,所谓“风景”就是设计好的集成电路图(IC),“胶片”就是一块石英板(光罩),用来记录集成电路图,“相纸”就是硅晶圆,“放大机”就相当于光刻机。

3、所不同的是,洗照片是放大,把小胶片放大到相纸上,光刻机是缩小,把电路图缩小到晶圆上。

4、在光刻机领域,有三家国际大牌:荷兰ASML(艾斯摩尔),日本Nikon(尼康),日本Canon(佳能)。但高端光刻机市场,荷兰ASML是无可争议的世界霸主,把第二名都甩得很远,因为技术难度太高、需要的投资太大,尼康、佳能已经放弃EUV光刻机的研发。