光刻机是干什么用的

说到光刻机，光刻很多人肯定都很陌生，机干也可能是什用第一次听见这个东西，那么光刻机是光刻干什么用的呢？一起来了解一下吧。

光刻机是机干芯片制造的核心设备之一。

在加工芯片的什用过程中，光刻机通过一系列的光刻光源能量、形状控制手段，机干将光束透射过画着线路图的什用掩模，经物镜补偿各种光学误差，光刻将线路图成比例缩小后映射到硅片上，机干然后使用化学方法显影，什用得到刻在硅片上的光刻电路图。

光刻机的机干结构组成：

1、测量台、什用曝光台：是承载硅片的工作台。

2、激光器：就是光源，光刻机核心设备之一。

3、光束矫正器：矫正光束入射方向，让激光束尽量平行。

4、能量控制器：控制最终照射到硅片上的能量，曝光不足或过足都会严重影响成像质量。

5、光束形状设置：设置光束为圆型、环型等不同形状，不同的光束状态有不同的光学特性。

6、遮光器：在不需要曝光的时候，阻止光束照射到硅片。

7、能量探测器：检测光束最终入射能量是否符合曝光要求，并反馈给能量控制器进行调整。

8、掩模版：一块在内部刻着线路设计图的玻璃板，贵的要数十万美元。

9、掩膜台：承载掩模版运动的设备，运动控制精度是nm级的。

10、物镜：物镜用来补偿光学误差，并将线路图等比例缩小。

11、硅片：用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸，尺寸越大，产率越高。

12、内部封闭框架、减振器：将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，并维持稳定的温度、压力。

以上就是小编今天的分享了，希望可以帮助到大家。

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